早在1738年，瑞士人丹尼爾伯努利以伯努利方程為基礎(chǔ)利用差壓法測(cè)量水流量。后來意大利人G.B.文丘里研究用文丘里管測(cè)量流量，并于1791年發(fā)表了研究結(jié)果。

1886年，美國人赫謝爾應(yīng)用文丘里管制成了測(cè)量水流量的的實(shí)用測(cè)量裝置。

20世紀(jì)初期到中期，原有的測(cè)量原理逐漸走向成熟，人們不再將思路局限在原有的測(cè)量方法上，而是開始了新的探索。

到了30年代，又出現(xiàn)了探討用聲波測(cè)量液體和氣體的流速的方法聲波測(cè)量流量的方法，但到第二次世界大戰(zhàn)為止未獲得很大進(jìn)展，直到1955年才有了應(yīng)用聲循環(huán)法的馬克森流量計(jì)的問世，用于測(cè)量航空燃料的流量。

20世紀(jì)的60年代以后，測(cè)量儀表開始向精密化、小型化等方向發(fā)展。